ASTM F1619-1995(2000)e1 用红外线吸收光谱法和布鲁斯特角部偏振辐射入射测量间充氧含量的标准试验方法
作者:标准资料网
时间:2024-05-13 09:28:52
浏览:9085
来源:标准资料网
下载地址: 点击此处下载
【英文标准名称】:StandardTestMethodforMeasurementofInterstitialOxygenContentofSiliconWafersbyInfraredAbsorptionSpectroscopywithp-PolarizedRadiationIncidentattheBrewsterAngle
【原文标准名称】:用红外线吸收光谱法和布鲁斯特角部偏振辐射入射测量间充氧含量的标准试验方法
【标准号】:ASTMF1619-1995(2000)e1
【标准状态】:作废
【国别】:
【发布日期】:1995
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(US-ASTM)
【起草单位】:F01.06
【标准类型】:(TestMethod)
【标准水平】:()
【中文主题词】:含氧量;硅氧烷;薄片;红外线光谱法
【英文主题词】:Brewsterangle;infraredabsorption;interstitialoxygen;oxygen;silicon
【摘要】:ThisstandardwastransferredtoSEMI(www.semi.org)May20031.1ThistestmethodcoversdeterminationoftheabsorptioncoefficientduetotheinterstitialoxygencontentofcommercialmonocrystallinesiliconwafersbymeansofFouriertransfor
【中国标准分类号】:L40
【国际标准分类号】:29_045
【页数】:7P.;A4
【正文语种】:
【原文标准名称】:用红外线吸收光谱法和布鲁斯特角部偏振辐射入射测量间充氧含量的标准试验方法
【标准号】:ASTMF1619-1995(2000)e1
【标准状态】:作废
【国别】:
【发布日期】:1995
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(US-ASTM)
【起草单位】:F01.06
【标准类型】:(TestMethod)
【标准水平】:()
【中文主题词】:含氧量;硅氧烷;薄片;红外线光谱法
【英文主题词】:Brewsterangle;infraredabsorption;interstitialoxygen;oxygen;silicon
【摘要】:ThisstandardwastransferredtoSEMI(www.semi.org)May20031.1ThistestmethodcoversdeterminationoftheabsorptioncoefficientduetotheinterstitialoxygencontentofcommercialmonocrystallinesiliconwafersbymeansofFouriertransfor
【中国标准分类号】:L40
【国际标准分类号】:29_045
【页数】:7P.;A4
【正文语种】:
下载地址:
点击此处下载