NF X21-070-2010 表面化学分析.二次离子质谱.用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度.
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时间:2024-05-18 14:58:33
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【英文标准名称】:Surfacechemicalanalysis-Secondary-ionmassspectrometry-Determinationofboronatomicconcentrationinsiliconusinguniformlydopedmaterials.
【原文标准名称】:表面化学分析.二次离子质谱.用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度.
【标准号】:NFX21-070-2010
【标准状态】:现行
【国别】:法国
【发布日期】:2010-09-01
【实施或试行日期】:2010-09-25
【发布单位】:法国标准化协会(FR-AFNOR)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:
【英文主题词】:Boron;Calibration;Chemicalanalysisandtesting;Concentrationvalues;Crystals;Determinationofcontent;Dopingagents;Finishes;Formulae(mathematics);Massspectrometry;Quantitativeanalysis;Secondary-ionmassspectrometry;Silicon;Spectrometry
【摘要】:
【中国标准分类号】:G04
【国际标准分类号】:71_040_50
【页数】:25P;A4
【正文语种】:其他
【原文标准名称】:表面化学分析.二次离子质谱.用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度.
【标准号】:NFX21-070-2010
【标准状态】:现行
【国别】:法国
【发布日期】:2010-09-01
【实施或试行日期】:2010-09-25
【发布单位】:法国标准化协会(FR-AFNOR)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:
【英文主题词】:Boron;Calibration;Chemicalanalysisandtesting;Concentrationvalues;Crystals;Determinationofcontent;Dopingagents;Finishes;Formulae(mathematics);Massspectrometry;Quantitativeanalysis;Secondary-ionmassspectrometry;Silicon;Spectrometry
【摘要】:
【中国标准分类号】:G04
【国际标准分类号】:71_040_50
【页数】:25P;A4
【正文语种】:其他
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